Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
MAXA, J. NEDĚLA, V.
Original Title
IMPACT OF THE CRITICAL FLOW ON CONDITIONS OF THE PRIMARY ELECTRON BEAM PASSAGE THROUGH THE DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER.
English Title
Type
journal article - other
Language
Czech
Original Abstract
Environmentální rastrovací elektronový mikroskop otevírá nové možnosti v oblasti zkoumání různých typů vzorků a jejich fází. Článek porovnává výsledky analýz čerpání plynu u vybraných tvarů diferenciálně čerpané komory pro vytváření vakua, pomocí systému využívajícího metodu konečných objemů.
English abstract
Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination various types of specimens and their phases. The article analyses and compares the results of air pumping measurement for selected shapes of the differentially pumped chamber to create vacuum, using the Cosmos FloWorks system.
Keywords
EREM, CAD, FEI, Cosmos Floworks
Key words in English
Authors
MAXA, J.; NEDĚLA, V.
RIV year
2011
Released
13. 6. 2011
Publisher
Publishing Group of University of Defence
Location
Brno
ISBN
1802-2308
Periodical
Advances in Military Technology
Year of study
6
Number
1
State
Czech Republic
Pages from
39
Pages to
46
Pages count
9
BibTex
@article{BUT49886, author="Jiří {Maxa} and Vilém {Neděla}", title="IMPACT OF THE CRITICAL FLOW ON CONDITIONS OF THE PRIMARY ELECTRON BEAM PASSAGE THROUGH THE DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER.", journal="Advances in Military Technology", year="2011", volume="6", number="1", pages="39--46", issn="1802-2308" }