Detail publikace

IMPACT OF THE CRITICAL FLOW ON CONDITIONS OF THE PRIMARY ELECTRON BEAM PASSAGE THROUGH THE DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER.

MAXA, J. NEDĚLA, V.

Originální název

IMPACT OF THE CRITICAL FLOW ON CONDITIONS OF THE PRIMARY ELECTRON BEAM PASSAGE THROUGH THE DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER.

Anglický název

IMPACT OF THE CRITICAL FLOW ON CONDITIONS OF THE PRIMARY ELECTRON BEAM PASSAGE THROUGH THE DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER.

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Environmentální rastrovací elektronový mikroskop otevírá nové možnosti v oblasti zkoumání různých typů vzorků a jejich fází. Článek porovnává výsledky analýz čerpání plynu u vybraných tvarů diferenciálně čerpané komory pro vytváření vakua, pomocí systému využívajícího metodu konečných objemů.

Anglický abstrakt

Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination various types of specimens and their phases. The article analyses and compares the results of air pumping measurement for selected shapes of the differentially pumped chamber to create vacuum, using the Cosmos FloWorks system.

Klíčová slova

EREM, CAD, FEI, Cosmos Floworks

Klíčová slova v angličtině

EREM, CAD, FEI, Cosmos Floworks

Autoři

MAXA, J.; NEDĚLA, V.

Rok RIV

2011

Vydáno

13. 6. 2011

Nakladatel

Publishing Group of University of Defence

Místo

Brno

ISSN

1802-2308

Periodikum

Advances in Military Technology

Ročník

6

Číslo

1

Stát

Česká republika

Strany od

39

Strany do

46

Strany počet

9

BibTex

@article{BUT49886,
  author="Jiří {Maxa} and Vilém {Neděla}",
  title="IMPACT OF THE CRITICAL FLOW ON CONDITIONS OF THE PRIMARY ELECTRON BEAM PASSAGE THROUGH THE DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER.",
  journal="Advances in Military Technology",
  year="2011",
  volume="6",
  number="1",
  pages="39--46",
  issn="1802-2308"
}