Publication detail

Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu

KADLEC, J.

Original Title

Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu

English Title

Control system for etching of cathode for electron-beam litography

Type

report

Language

Czech

Original Abstract

Projekt se zabývá vytvořením vyjímečného řídicího systému pro leptání katod elektronového litografu. Předpokládá začlenění tohoto řídicího systému do výrobního procesu leptání katod. Podle údajů získaných z leptacího systému je schopen řídicí sytém rozhodnout o optimálním nastavení leptacího procesu bez nutnosti vnějšího zásahu obsluhy. Aktivní komunikace s řídicím počítačovým systémem zajišťuje obsluze maximální uživatelské pohodlí a především informuje o aktuálním stavu všech parametrů leptacího procesu. Samozřejmostí je uživatelská možnost změny leptacího režimu, záloha veškerých dat získaných při leptacím režimu pro pozdější vyhodnocování a vizualizace leptacího procesu v reálném čase. Tento sytém výraznou měrou přispěje ke zlepšení parametrů vyráběných katod a následně ke zlepšení parametrů elektronového litografu.

English abstract

Project is focused on the design of control system for cathode etching. Control device is focused on high precision measuring and real time monitoring of etching process. Final cathode product is implemented in electron-beam litograph and increases its importatnt parameters.

Key words in English

electron-beam litography, control system, embedded devices

Authors

KADLEC, J.

Released

1. 12. 2005

Publisher

Fond rozvoje vysokých škol

Location

Brno

Pages count

16

BibTex

@techreport{BUT57558,
  author="Jaroslav {Kadlec}",
  title="Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu",
  year="2005",
  publisher="Fond rozvoje vysokých škol",
  address="Brno",
  series="2833",
  edition="1",
  pages="16"
}