Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
KADLEC, J.
Originální název
Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu
Anglický název
Control system for etching of cathode for electron-beam litography
Typ
výzkumná zpráva
Jazyk
čeština
Originální abstrakt
Projekt se zabývá vytvořením vyjímečného řídicího systému pro leptání katod elektronového litografu. Předpokládá začlenění tohoto řídicího systému do výrobního procesu leptání katod. Podle údajů získaných z leptacího systému je schopen řídicí sytém rozhodnout o optimálním nastavení leptacího procesu bez nutnosti vnějšího zásahu obsluhy. Aktivní komunikace s řídicím počítačovým systémem zajišťuje obsluze maximální uživatelské pohodlí a především informuje o aktuálním stavu všech parametrů leptacího procesu. Samozřejmostí je uživatelská možnost změny leptacího režimu, záloha veškerých dat získaných při leptacím režimu pro pozdější vyhodnocování a vizualizace leptacího procesu v reálném čase. Tento sytém výraznou měrou přispěje ke zlepšení parametrů vyráběných katod a následně ke zlepšení parametrů elektronového litografu.
Anglický abstrakt
Project is focused on the design of control system for cathode etching. Control device is focused on high precision measuring and real time monitoring of etching process. Final cathode product is implemented in electron-beam litograph and increases its importatnt parameters.
Klíčová slova v angličtině
electron-beam litography, control system, embedded devices
Autoři
Vydáno
1. 12. 2005
Nakladatel
Fond rozvoje vysokých škol
Místo
Brno
Strany počet
16
BibTex
@techreport{BUT57558, author="Jaroslav {Kadlec}", title="Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu", year="2005", publisher="Fond rozvoje vysokých škol", address="Brno", series="2833", edition="1", pages="16" }