Product detail
Optický senzor tlaku s MEMS snímací membránou
KADLEC, J. HELÁN, R. URBAN, F. VRBA, R. VLACH, R.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Optický senzor tlaku s MEMS křemíkovou membránou a základnou z materiálu SIMAX.
Keywords
Tlakový snímač, optický princip, MEMS membrána
Create date
1. 12. 2008
Location
BD Sensors, s.r.o., Buchlovice
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek