Product detail

Optický senzor tlaku s MEMS snímací membránou

KADLEC, J. HELÁN, R. URBAN, F. VRBA, R. VLACH, R.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Optický senzor tlaku s MEMS křemíkovou membránou a základnou z materiálu SIMAX.

Keywords

Tlakový snímač, optický princip, MEMS membrána

Create date

1. 12. 2008

Location

BD Sensors, s.r.o., Buchlovice

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek