Detail produktu
Optický senzor tlaku s MEMS snímací membránou
KADLEC, J. HELÁN, R. URBAN, F. VRBA, R. VLACH, R.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Optický senzor tlaku s MEMS křemíkovou membránou a základnou z materiálu SIMAX.
Klíčová slova
Tlakový snímač, optický princip, MEMS membrána
Datum vzniku
1. 12. 2008
Umístění
BD Sensors, s.r.o., Buchlovice
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek