Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Product detail
HUBÁLEK, J.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.
Keywords
galvanická depozice, anodizace, modifikace nanostrukturami
Create date
1. 12. 2008
Location
U7
Possibilities of use
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek