Detail produktu

Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice

HUBÁLEK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.

Klíčová slova

galvanická depozice, anodizace, modifikace nanostrukturami

Datum vzniku

1. 12. 2008

Umístění

U7

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek