Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail produktu
HUBÁLEK, J.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.
Klíčová slova
galvanická depozice, anodizace, modifikace nanostrukturami
Datum vzniku
1. 12. 2008
Umístění
U7
Možnosti využití
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek