Product detail

Funkční vzorek pro analýzy vlivů velikosti a tvarů otvorů clonek při čerpání plynů pro vytvoření vakua.

MAXA, J. JIRÁK, J. NEDĚLA, V.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení pro analýzy proudění plynů s různými variantami clonek pro zařízení enviromentálního rastovacího elektronévého mikroskopu. Především diferenciálně čerpané komory a scintilačního detektoru s ohledem na optimalizaci podmínek pro průchod elektronů v návaznosti na předchozích analýzách systémem využívající metodu konečných objemů.

Keywords

EREM, scintilační SE detektor, elektronová mikroskopie

Create date

1. 2. 2010

Location

Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek