Detail produktu
Funkční vzorek pro analýzy vlivů velikosti a tvarů otvorů clonek při čerpání plynů pro vytvoření vakua.
MAXA, J. JIRÁK, J. NEDĚLA, V.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Zařízení pro analýzy proudění plynů s různými variantami clonek pro zařízení enviromentálního rastovacího elektronévého mikroskopu. Především diferenciálně čerpané komory a scintilačního detektoru s ohledem na optimalizaci podmínek pro průchod elektronů v návaznosti na předchozích analýzách systémem využívající metodu konečných objemů.
Klíčová slova
EREM, scintilační SE detektor, elektronová mikroskopie
Datum vzniku
1. 2. 2010
Umístění
Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek