Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Patent detail
HUBÁLEK, J.
Patent type
Utility model
Abstract
Užitný vzor depozičního zařízení pro vytváření nanostruktur elektrochemickými nebo chemickými metodami. Zařízení provádí poziciování pomocí 3D systému a provádí lokální modifikace čipů nanostrukturami na nerozřezaném waferu.
Keywords
elektrochemické a chemické depozice, nanostruktury
Patent number
20398
Date of application
9. 11. 2009
Date of registration
4. 1. 2010
Publisher
Patentový úřad Brno
Owner
VUT
Possibilities of use
In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license
Licence fee
The licensor does not require a license fee for the result