Detail patentu
Zařízení k provádění depozice mikroelektrod čipů, rozmístěných na desce, pomocí chemických roztoků
HUBÁLEK, J.
Typ patentu
užitný vzor
Abstrakt
Užitný vzor depozičního zařízení pro vytváření nanostruktur elektrochemickými nebo chemickými metodami. Zařízení provádí poziciování pomocí 3D systému a provádí lokální modifikace čipů nanostrukturami na nerozřezaném waferu.
Klíčová slova
elektrochemické a chemické depozice, nanostruktury
Číslo patentu
20398
Datum přihlášky
9. 11. 2009
Datum zápisu
4. 1. 2010
Vydavatel
Patentový úřad Brno
Vlastník
VUT
Možnosti využití
K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek