Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Product detail
HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela.
Keywords
Mikroposuv. fotolitografie, kremíkový substrát
Create date
23. 12. 2011
Location
Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
www
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=16