funkční vzorek

Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela.

Mikroposuv. fotolitografie, kremíkový substrát

23. 12. 2011

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=16