Product detail

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

PEKÁREK, J. MAGÁT, M.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Keywords

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

Create date

10. 4. 2012

Location

Laboratoř T10-N0.67

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf