funkční vzorek

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

10. 4. 2012

Laboratoř T10-N0.67

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf