Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Product detail
PÁLENÍČEK, M. WERTHEIMER, P. ŠULC, D.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).
Keywords
zařízení; křemíkové desky; defekty; vrstevné chyby; manipulator; analýza obrazu
Create date
9. 12. 2012
Location
On Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm
Possibilities of use
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek