Detail produktu

Zařízení na analýzu křemíkových desek

PÁLENÍČEK, M. WERTHEIMER, P. ŠULC, D.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).

Klíčová slova

zařízení; křemíkové desky; defekty; vrstevné chyby; manipulator; analýza obrazu

Datum vzniku

9. 12. 2012

Umístění

On Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek