Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Publication detail
Boušek J., Kosina P.
Original Title
Vakuová technika
English Title
Vacuum technology
Type
course reader
Language
Czech
Original Abstract
Skriptum pro magisterské studium oboru mikroelektronika. Vakuové processy jsou vysvětleny na základě studia příslušných fyzikálních mechanismů.
English abstract
Textbook for Master's degree in microelectronics. Vacuum process are explained by studying the relevant physical mechanisms.
Keywords
Plyn, tlak, střední volná dráha, vývěva, vakuoměr
Key words in English
Gas, pressure, mean free path, vacuum pump, vacuum gauge
Authors
Released
4. 3. 2015
Publisher
VUT v Brně
Location
BRNO
Pages count
82
BibTex
@misc{BUT120704, author="Jaroslav {Boušek} and Petr {Kosina}", title="Vakuová technika", year="2015", pages="82", publisher="VUT v Brně", address="BRNO", note="course reader" }