Publication detail

Vakuová technika

Boušek J., Kosina P.

Original Title

Vakuová technika

English Title

Vacuum technology

Type

course reader

Language

Czech

Original Abstract

Skriptum pro magisterské studium oboru mikroelektronika. Vakuové processy jsou vysvětleny na základě studia příslušných fyzikálních mechanismů.

English abstract

Textbook for Master's degree in microelectronics. Vacuum process are explained by studying the relevant physical mechanisms.

Keywords

Plyn, tlak, střední volná dráha, vývěva, vakuoměr

Key words in English

Gas, pressure, mean free path, vacuum pump, vacuum gauge

Authors

Boušek J., Kosina P.

Released

4. 3. 2015

Publisher

VUT v Brně

Location

BRNO

Pages count

82

BibTex

@misc{BUT120704,
  author="Jaroslav {Boušek} and Petr {Kosina}",
  title="Vakuová technika",
  year="2015",
  pages="82",
  publisher="VUT v Brně",
  address="BRNO",
  note="course reader"
}