Publication detail

Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

LAZAR, J. HOLÁ, M. HRABINA, J. OULEHLA, J. ČÍP, O.

Original Title

Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Preneztujeme zde výsledky společného projektu aplikovaného výzkumu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republik, v. v. i. a firma Meopta - optika, s.r.o. na společném vývoji vysoce přesných interferometrických systémů prodimenzioální metrologii a nanometrologii. Výzkum využívá přechozích výsledků na poli laserových normálů otpických frekvencí a metodologie interferometrických měření v metrologii délky, detekce a zpracování interferometrických signálů na ÚPT spolu s technologií zpracování otpického skla a výrobou vysoce přesných optických komponentů ve firmě Meopta - optika. Hlavním cílem projetku je návhr komplexního interferometrického měřicího systému ve formě prototypu, který bude sloužit jako váchdisko pro budoucí výrobu. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponentů konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologíích a měřeních topografie povrchů. V rámci tohoto projektu jsme vyvinuli kompaktní

Keywords

interferometrické systémy; měření délek; nanometrologie

Authors

LAZAR, J.; HOLÁ, M.; HRABINA, J.; OULEHLA, J.; ČÍP, O.

Released

15. 9. 2015

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

60

Number

1

State

Czech Republic

Pages from

14

Pages to

17

Pages count

4

BibTex

@article{BUT138311,
  author="Josef {Lazar} and Miroslava {Holá} and Jan {Hrabina} and Jindřich {Oulehla} and Ondřej {Číp}",
  title="Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2015",
  volume="60",
  number="1",
  pages="14--17",
  issn="0447-6441"
}