Publication detail

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků

Ondřej Hégr, Jaroslav Boušek

Original Title

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků

English Title

Reactive magnetron sputtering of SiNx layers for surface passivation of crystalline solar cells

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Hlavní výhodou pasivačních vrstev vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním je zejména nízká procesní teplota. Použití nízkoteplotní depozice umožňuje redukci poruch krystalické mřížky křemíkového povrchu. Díky tomu je snižována rekombinační rychlost a prodlužuje se doba života minoritních nosičů. Cílem práce je vytvořit pasivační vrstvu na povrchu fotovoltaického solárního článku, jejíž struktura umožní zlepšení optických a elektrických vlastností celého článku.

English abstract

For deposition of SiNx films the main advantage of magnetron sputtering technology is low process temperature. The amount of the crystal lattice deffect decrease when using this low-temperature process. The aim of work was evaluation of both front and back side surface recombinations and optical properties of sputtered layers.

Keywords

pasivační vrstva, rekombinace, magnetronové naprašování, solární články

Key words in English

passivation layer, magnetron sputtering, solar cells, recombination

Authors

Ondřej Hégr, Jaroslav Boušek

RIV year

2006

Released

12. 12. 2006

Publisher

nakl. Z. Novotný

ISBN

80-214-3342-6

Book

Konference MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích

Pages from

124

Pages to

129

Pages count

6

BibTex

@inproceedings{BUT24901,
  author="Ondřej {Hégr} and Jaroslav {Boušek}",
  title="Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků",
  booktitle="Konference MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích",
  year="2006",
  volume="2006",
  number="1",
  pages="6",
  publisher="nakl. Z. Novotný",
  isbn="80-214-3342-6"
}