Detail předmětu

Tenké vrstvy

FCH-DCO_FTDAk. rok: 2011/2012

Příprava tenkých vrstev z kapalné a plynné fáze, LB vrstvy, SA vrstvy, vrstvy nanášené litím, základy techniky vakua a fyziky plazmatu, napařování, naprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, charakterizace tenkých vrstev, růst vrstev, stanovení tloušťky tenké vrstvy, mikroskopické a spektroskopické metody analýzy vrstev, vlastnosti a použití tenkých vrstev.

Jazyk výuky

čeština

Garant předmětu

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav chemie materiálů (ÚCHM)

Výsledky učení předmětu

Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.

Prerekvizity

Úvod do tenkých vrstev.

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.

Způsob a kritéria hodnocení

Písemný vstupní test a ústní zkouška.

Osnovy výuky

Technologie přípravy vrstev
Růst vrstev
Strukturní analýzy vrstev
Chemická analýza vrstev
Vlastnosti vrstev

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Přednášky jsou nepovinné.

Základní literatura

D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998. (CS)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program DPCP_CHM doktorský

    obor DPCO_CHM , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

  • Program CKCP_CZV celoživotní vzdělávání (není studentem)

    obor CKCO_CZV , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

  • Program DPCP_CHM doktorský

    obor DPCO_CHM , 2 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

  • Program DKCP_CHM doktorský

    obor DKCO_CHM , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný
    obor DKCO_CHM , 2 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

Typ (způsob) výuky

 

Konzultace v kombinovaném studiu

0 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.