Detail předmětu

Příprava a vlastnosti tenkých vrstev materiálů

FCH-DCO_PTVAk. rok: 2018/2019

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Jazyk výuky

čeština

Garant předmětu

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Fakulta chemická (FCH)

Výsledky učení předmětu

Studenti získají znalosti z problematiky tenkých vrstev nezbytné pro řešení jejich disertační práce.

Prerekvizity

Úvod do tenkých vrstev.

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Výuka předmětu je realizována formou: individuální konzultace. Vyučujícím a studentům je k dispozici e-learningový systém (LMS Moodle).

Způsob a kritéria hodnocení

Písemný vstupní test a ústní zkouška.

Osnovy výuky

Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Případová studie

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Přednášky jsou nepovinné.

Základní literatura

D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998. (CS)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002. (CS)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004. (CS)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program DPCP_CHM_4 doktorský

    obor DPCO_CHM_4 , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

  • Program DPAP_CHM_4 doktorský

    obor DPAO_CHM_4 , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

  • Program DKCP_CHM_4 doktorský

    obor DKCO_CHM_4 , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

  • Program DKAP_CHM_4 doktorský

    obor DKAO_CHM_4 , 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný

  • Program AKREDITACE doktorský 1 ročník, zimní semestr, povinně volitelný