Detail předmětu

Thin Films

FCH-BAO_TPVAk. rok: 2024/2025

Struktura přednášky zahrnuje definici základních pojmů, základy techniky vakua, úvod do plazmochemie, technologie přípravy vrstev - napařování, rozprašování, plazmová polymerace, využití laserů pro depozice tenkých vrstev, depozice z plynné fáze, charakterizace tenkých vrstev - růst vrstev, tloušťka tenké vrstvy, techniky sondové mikroskopie (STM, AFM, EFM, MFM, SNOM), mechanické vlastnosti (měřící techniky, pnutí, adheze).

Jazyk výuky

angličtina

Počet kreditů

4

Garant předmětu

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav chemie materiálů (ÚCHM)

Nabízen zahraničním studentům

Všech fakult

Vstupní znalosti

Základy chemie a fyziky.

Pravidla hodnocení a ukončení předmětu

Písemný vstupní test a po jeho úspěšném absolvování (úspěšnost >50%) probíhá ústní zkouška, která hodnotí úroveň základních znalostí studenta z technologií přípravy vrstev, způsobů jejich charakterizace, vlastností a použití tenkých vrstev v rozsahu probíraném na přednášce.
Přednášky jsou nepovinné.

Učební cíle

Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.
Studenti získají základní znalosti o průmyslových technologiích pro přípravu tenkých vrstev, o vybraných analýzách vlastností vrstev a jejich aplikacích. Tyto znalosti mohou využít při zpracování diplomové práce a také později jako technologové a výzkumní pracovníci.

Základní literatura

D. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998 (EN)
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press 2002 (EN)
N. Inagaki, Plasma Surface Modification and Plasma Polymerisation. Lancaster: Technomic Publ., 1996 (EN)
V. L. Mironov, Fundamentals of Scanning Probe Microscopy, NT-MDT 2004 (EN)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program NPAP_ENVI magisterský navazující 1 ročník, letní semestr, volitelný

Typ (způsob) výuky

 

Přednáška

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Osnova

Úvod / Informační zdroje
Základy techniky vakua
Úvod do fyziky a chemie plazmatu
Fyzikální metody pro přípravu tenkých vrstev
Chemické metody pro přípravu tenkých vrstev
Plazmochemická depozice z plynné fáze
Růst tenké vrstvy
Měření tloušťky tenkých vrstev
Rastrovací sondová mikroskopie
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev
Případová studie