Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail předmětu
CEITEC VUT-DS107AAk. rok: 2024/2025
Doktorské studium je zaměřeno na mikrotechnologie, mikroobrábění a mikrosystémy. Hlavním cílem je poskytnout teoretické a experimentální základy v oblasti mikrotechnologických metod a technik, které jsou k dispozici nejen ve sdílených laboratořích CEITEC. Kurz se podrobně zaměřuje na nanášení tenkých vrstev a mikroobrábění křemíku pro vytváření elektromechanických systémů na čipu zvaných MEMS. Na závěr bude představena technologie MOS, která ukáže základní struktury, jako je tranzistor, kondenzátor a dioda. Kurz pomůže získat znalosti pro využití technologického vybavení CEITEC k vytváření různých mikrosenzorů/mikrosoučástek/ mikrozařízení.
Jazyk výuky
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Vstupní znalosti
Základní znalosti fyzikální chemie a fyziky materiálů.
Pravidla hodnocení a ukončení předmětu
Na konci kurzu si student připraví 20-minutovou prezentaci o vybrané metodě/technice depozice v angličtině, která bude použita při zkoušce z předmětu. Hodnocení je založeno na připravených materiálech, pochopení tématu, prezentaci a použité literatuře.
Učební cíle
Student se seznámí se základními i pokročilými metodami a technikami vytváření mikrostruktur a polovodičových součástek, s materiály, pravidly pro jejich realizaci a moderními nanotechnologiemi v polovodičovém průmyslu.Přehled metod a technik v tenkovrstvé a polovodičové technologii, schopnost návrhu miktrostruktur a nanostruktur za využití pokročilých technik výroby.
Základní literatura