Kurz poskytuje základní přehled o mikro- a nanofabrikačních technikách používaných v akademickém výzkumu. Zahrnuje základy optické a elektronové litografie, přípravu návrhů struktur, chemikálie pro litografii, čisticí procesy, plazmové technologie, leptací a depoziční procesy, testování vzorků a pouzdření.

Pozornost bude věnována popisu principů fungování nanofabrikačního vybavení, omezením jednotlivých technik a popisu nejčastěji používaných laboratorních procesů.

Cílem je poskytnout studentům dostatečně široký soubor znalostí tak, aby byli schopni zvolit vhodné nanofabrikační postupy, a aby byli schopni efektivně vyrábět vzorky a součástky potřebné k jejich výzkumu.

The course provides a basic overview of the cleanroom micro- and nanofabrication techniques used in academic research. It covers basics of optical and electron lithography, design preparation, chemicals for lithography, cleaning processes, plasma technology, etching and deposition processes, sample testing and packaging.

Attention will be paid to description of working principles of nanofabrication equipment, limitations of each technique and to description of most commonly used nanofabrication processes.

The objective is to provide a wide enough pool of knowledge so the students are able to choose the appropriate nanofabrication toll and process to be able to efficiently fabricate samples and devices required for their research.