Detail projektu

Návrh a konstrukce UV optického měřicího zařízení k in situ monitorování plošné homogenity růstu tenkých vrstev metodou IBAD.

Období řešení: 01.01.2002 — 31.12.2004

Zdroje financování

Grantová agentura České republiky - Standardní projekty

- plně financující (2002-01-01 - 2004-12-31)

Označení

GA102/02/0506

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Útvary

Ústav fyzikálního inženýrství
- příjemce (28.11.2002 - nezadáno)

Výsledky

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., FIEDOR, M., CHMELÍK, R., BUČEK, M., ŠIKOLA, T. Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry. In ECASIA '03 Book of abstracts. Berlin: ECASIA, 2003. p. 284 ( p.)
Detail

ČECHAL, J., TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., BONAVENTUROVÁ - ZRZAVECKÁ, O., URBÁNEK, M., NAVRÁTIL, K., ŠIKOLA, T. In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS. In ECASIA 10 Book of Abstracts. Berlin: ECASIA, 2003. p. 226 ( p.)
Detail

URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; SZOTKOWSKI, R.; CHMELÍK, R.; BUČEK, M.; ŠIKOLA, T. Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry. Surface and Interface Analysis, 2004, vol. 36, no. 8, p. 1102 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., URBÁNEK, M., NAVRÁTIL, K., JIRUŠE, J., CHMELÍK, R., NEBOJSA, A. In situ measurements of surface homogeneity of optical parameters of weakly absorbing thin films. Surface and Interface Analysis, 2002, vol. 34, no. 1, p. 664 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T. Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev. 2003, roč. 48, č. 6, s. 163 ( s.)ISSN: 0447-6411.
Detail

VAIS, J., ŽENÍŠEK, J., JURKOVIČ, P., ČECHAL, J., DITTRICHOVÁ, L., SPOUSTA, J., BOCHNÍČEK, Z., ŠIKOLA, T. Interface and depth profile analysis of magnetic ultrathin films. In ECASIA 10 Book of Abstracts. Berlin: ECASIA, 2003. p. 226 ( p.)
Detail