Předmětem projektu je vývoj nového komerčně konkurenceschopného rastrovacího elektronového mikroskopu pro nanotechnologie a nanovědy se zřetelem na vysoký stupněm modulárnosti, zlepšeného rozlišení při nízkých energiích elektronů a jednoduchost při zachování ostatních špičkových parametrů. Toho bude dosaženo návrhem, výrobou a implementací nového tubusu REM, vývojem a testováním nových kompozitních prvků pro studenou emisi elektronů připravených průmyslově kompatibilní plazmovou technologií, vývojem a praktickým ověřováním provozu pokročilých analytických a technologických modulů a jejich kombinací v REM, a realizací demonstrátoru modulárního multifunkčního REM zařízení s aplikačními listy pro jeho využití.

Popis anglicky
In this project we develop new commercially competitive scanning electron microscope for nanotechnologies and nanosciences with a special view to it high degree of modularity, improved resolution at low electron energies and simplicity while preserving other front-end parameters. This will be accomplished by design, fabrication, and implementation on novel SEM tube, by development and testing of novel cold emission elements prepared by industry-compatible plasma technology, by development and practical application of advanced analytical and technological modules as well as their combination in SEM, and by assembling a demonstrator of modular multifunctional SEM apparatus with application sheets for its practical use.

Klíčová slova
elektronová optika, elektronový mikroskop, elektronové detektory, uhlíkové materiály, studená emise, nanomanipulátory, proud indukovaný elektronovými paprsky, depozice, leptání, nanotechnologie, nanověda,

Klíčová slova anglicky
electron optics; electron microscope; electron detectors; carbon materials; cold emission; nanomanipulators; electron beam induced currents; ion beam deposition; ion beam etching; nanotechnology; nanosciences; application sheets