Tento projekt byl spolufinancován se státní podporou Technologické agentury ČR v rámci Národní centra kompetence 1
www.tacr.cz
Výzkum užitečný pro společnost.

Detail projektu

Advanced imaging of nanoscale materials in SEM

Období řešení: 01.02.2019 — 31.12.2022

Zdroje financování

Technologická agentura ČR - Národní centra kompetence 1

- plně financující

O projektu

SEMs are the most versatile and widespread electron microscopes worldwide. However, with decreasing dimensions of devices TEMs are getting more involved in the fabrication and inspection. Additionally, for specific tasks (magnetic imaging in storage industry) dedicated instruments other than electron microscopes are necessary. We aim to develop new procedures for imaging in SEMs, including new beam generation techniques, for adding functionalities to SEMs.

Klíčová slova
SEM;TEM;detector;nanostructures

Označení

TN01000008/10

Originální jazyk

angličtina

Řešitelé

Urbánek Michal, Ing., Ph.D. - hlavní řešitel
Kolíbal Miroslav, doc. Ing., Ph.D. - spoluřešitel

Útvary

Příprava a charakterizace nanostruktur
- příjemce (29.01.2019 - nezadáno)

Odpovědnost: Urbánek Michal, Ing., Ph.D.