Detail projektu

Investigation of electrical, optical and mechanical properties of thin films of novel materials deposited via ALD.

Období řešení: 01.03.2022 — 28.02.2023

Zdroje financování

Vysoké učení technické v Brně - Vnitřní projekty VUT

- plně financující (2022-01-01 - 2023-12-31)

O projektu

The recent advancements in ALD technology along with the development in organic chemistry of suitable novel ALD precursors enabled the synthesis of ultrathin homogenous films like 2D TMDCs or MeNx. The complex information about their structure to property relationship is still missing, in particular regarding the electronic, optical and mechanical properties.The goal of this project is to investigate and compare these properties of TMDCs MoX (X=S, Se, Te), and MeNx (M=Ti, Ta, Al) thin-films deposited via ALD on Si, quartz glass and Ti foil.

Označení

CEITEC VUT-J-22-8033

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Baishya Kaushik, M.Sc. - hlavní řešitel
Macák Jan, Dr. Ing. - spoluřešitel

Útvary

Pokročilé nízkodimenzionální nanomateriály
- interní (01.01.2022 - 31.12.2022)
Středoevropský technologický institut VUT
- příjemce (01.01.2022 - 31.12.2022)

Odpovědnost: Baishya Kaushik, M.Sc.