Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
HRNČIŘÍK, P., MULLEROVÁ, I.
Originální název
Very Low Energy Scanning Electron Microscopy
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
The inelastic and elastic mean free paths (IMFP and EMFP) determine the largest sample thickness usable for transmission electron microscopy (TEM). At primary electron energies normally used for TEM (>50 keV), both mean free paths decrease as the primary energy is lowered. If the primary energy is lowered to below about 100 eV, IMFP is predicted to stop decreasing and to begin growing again [1, 2]. This opens up the exciting possibility of very low voltage TEM of sufficiently thin samples, with poorer resolution but greatly reduced radiation damage compared to conventional TEM.
Klíčová slova v angličtině
SLETEM, SLEEM, SEM
Autoři
Vydáno
1. 1. 2004
Nakladatel
Ústav přístrojové techniky AV ČR
Místo
Brno
ISBN
80-239-3246-2
Kniha
Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
Strany od
33
Strany do
34
Strany počet
2
BibTex
@inproceedings{BUT11285, author="Petr {Hrnčiřík} and Ilona {Müllerová}", title="Very Low Energy Scanning Electron Microscopy", booktitle="Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation", year="2004", pages="2", publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR", address="Brno", isbn="80-239-3246-2" }