Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
VODÁK, J. NEČAS, D. OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I.
Originální název
Determination of local thickness values of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution
Typ
článek v časopise ve Web of Science, Jimp
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
In this paper an imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution is presented. Main features of its design, experimental data acquisition, i.e. maps of thin film spectral dependencies of local reflectance and the local thickness map determination are described. The ability of this instrument to characterize thin film thickness non-uniformity with high gradients is demonstrated on measurements of thin film edges. A comparison with an older device is also presented.
Klíčová slova
enhanced spatial resolution, high gradient thickness distribution, imaging spectroscopic reflectometer, non-uniform thin films
Autoři
VODÁK, J.; NEČAS, D.; OHLÍDAL, M.; OHLÍDAL, I.
Vydáno
12. 1. 2017
Nakladatel
IOP Publishing
ISSN
0957-0233
Periodikum
Measurement Science and Technology
Ročník
28
Číslo
2
Stát
Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Strany od
025205
Strany do
025205-6
Strany počet
6
URL
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aa5534