Detail publikace

Potentialities of optical profilometer MicroProf FRT for surface quality measurement

PÁLENÍKOVÁ, K. OHLÍDAL, M.

Originální název

Potentialities of optical profilometer MicroProf FRT for surface quality measurement

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

Principle, parameters and selected applications of the optical profilometer MicroProf FRT are presented.

Klíčová slova

Optical metrology, surface quality

Autoři

PÁLENÍKOVÁ, K.; OHLÍDAL, M.

Rok RIV

2005

Vydáno

1. 7. 2005

Nakladatel

SPIE - The internationalSociety for Optical Engineering

Místo

Bellingham, Washington, USA

ISBN

0-8194-5951-8

Kniha

14 th Slovak-Czech Polish Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics

ISSN

0277-786X

Periodikum

Proceedings of SPIE

Ročník

5945

Stát

Spojené státy americké

Strany od

59451O-1

Strany do

59451O-6

Strany počet

6