Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
FICEK, R. VRBA, R.
Originální název
Carbon Nanotubes Applicated in Pressure Measurement
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Novel pressure sensors have been achieved utilizing carbon nanotubes (CNTs) arrays as the electron source in emission sensor or as the surface increase element in capacitance sensor. Both sensors consisted of the elastic electrode-sensing film fabricated by wet anisotropic etching process and solid electrode. The emission sensor has elastic anode electrode with membrane and multi-wall carbon nanotubes (MWCNTs) arrays cathode in the vacuum chamber. The capacitance sensor has the same topology extensive by CNT on both electrodes without vacuum chamber. The MWCNTs were grown by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD).
Klíčová slova
Carbon Nanotubes, Sensor, MEMS
Autoři
FICEK, R.; VRBA, R.
Rok RIV
2007
Vydáno
26. 4. 2007
Nakladatel
Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií a Fakulta informačních technologií
Místo
Brno
ISBN
978-80-214-3410-3
Kniha
Proceedings of the 13th Conference STUDENT EEICT 2007
Číslo edice
první
Strany od
295
Strany do
298
Strany počet
4
BibTex
@inproceedings{BUT23640, author="Richard {Ficek} and Radimír {Vrba}", title="Carbon Nanotubes Applicated in Pressure Measurement", booktitle="Proceedings of the 13th Conference STUDENT EEICT 2007", year="2007", number="první", pages="4", publisher="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií a Fakulta informačních technologií", address="Brno", isbn="978-80-214-3410-3" }