Detail publikace

Počítačová simulace přímého tunelování hradlovými oxidy

RECMAN, M.

Originální název

Počítačová simulace přímého tunelování hradlovými oxidy

Anglický název

Computer simulation of direct tunneling through gate oxides

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Se zmenšující se délkou kanálu tranzistorů NMOS se zmenšuje tloušťka hradlového oxidu a dominantní složkou proudu hradlem se stává přímé tunelování nosičů z kanálu a SDE(source-drain extensions) do polykrystalického hradla. Příspěvek se zabývá TCAD simulací tohoto tunelového proudu v NMOSFET strukturách s tloušťkou oxidu menší než 20 A. S použitím programů DIOS a MDRAW je vytvořena dvoudimenzionální struktura tranzistoru NMOS. DESSIS počítá složku hradlového proudu odpovídající přímému tunelování přes hradlový oxid a program INSPECT generuje a srovnává simulované A-V charakteristiky pro 7 jednotlivých simulací. Všechny experimenty jsou prováděny v grafickém prostředí GENESISe.

Anglický abstrakt

english description

Klíčová slova

Strukturní simulace, Elektrická simulace, Identifikace parametrů, Modelování polovodičových struktur, Extrakce parametrů, 2D, Prahové napětí, Podprahový proud, Jevy krátkého kanálu, MOSFET, Hradlový proud, Přímé tunelování,

Klíčová slova v angličtině

Device simulation,

Autoři

RECMAN, M.

Rok RIV

2007

Vydáno

1. 1. 2007

Nakladatel

Nakl. Novotný

Místo

Brno

ISBN

978-80-214-3534-6

Kniha

MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích.. Seminář o výsledcích výzkumného záměru MSM 0021630503 v roce 2007. Sborník příspěvků. Nakl. Novotný, Brno 2007

Strany od

51

Strany do

55

Strany počet

5

BibTex

@inproceedings{BUT25397,
  author="Milan {Recman}",
  title="Počítačová simulace přímého tunelování hradlovými oxidy",
  booktitle="MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích.. Seminář o výsledcích výzkumného záměru MSM 0021630503 v roce 2007. Sborník příspěvků. Nakl. Novotný, Brno 2007",
  year="2007",
  pages="5",
  publisher="Nakl. Novotný",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-3534-6"
}