Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
ČECHALOVÁ, B. STUDÝNKA, J. ČECH, V.
Originální název
Optical constants of plasma-polymerized tetravinylsilane films
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
We have focused on the optical properties of thin plasma-polymerized films deposited from a mixture of tetravinylsilane and oxygen gas and evaluated by means of spectroscopic ellipsometry. The RF effective power of pulsed plasma and the oxygen/total flow rate ratio were varied in broad range. We found a clear link between the RF effective power used and optical properties (refractive index, extinction coefficient, band gap) of the films.
Klíčová slova
plasma polymerization, optical properties, ellipsometry
Autoři
ČECHALOVÁ, B.; STUDÝNKA, J.; ČECH, V.
Rok RIV
2007
Vydáno
13. 12. 2007
ISBN
978-4-9903773-2-8
Kniha
18th International Symposium on Plasma Chemistry
Strany od
1
Strany do
4
Strany počet
BibTex
@inproceedings{BUT28338, author="Božena {Čechalová} and Jan {Studýnka} and Vladimír {Čech}", title="Optical constants of plasma-polymerized tetravinylsilane films", booktitle="18th International Symposium on Plasma Chemistry", year="2007", pages="1--4", isbn="978-4-9903773-2-8" }