Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I. KLAPETEK, P. NEČAS, D.
Originální název
PRECISE MEASUREMENT OF THICKNESS DISTRIBUTION OF NON-UNIFORM THIN FILMS BY IMAGING SPECTROSCOPIC REFLECTOMETRY
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
A new method of imaging spectroscopic photometry enabling us to perform the complete optical characterization of thin films exhibiting area non-uniformity in optical parameters is presented. An original imaging spectroscopic photometer operating in the reflection mode at normal incidence is used to apply this method. The method described was used to characterize carbon-nitride thin films.
Klíčová slova
non-uniform thin films, imaging spectroscopic reflectometry
Autoři
OHLÍDAL, M.; OHLÍDAL, I.; KLAPETEK, P.; NEČAS, D.
Rok RIV
2009
Vydáno
11. 9. 2009
Nakladatel
IMEKO
Místo
Lisabon
ISBN
978-963-88410-0-1
Kniha
Proceedings of IMEKO 2009
Strany od
100
Strany do
105
Strany počet
6
BibTex
@inproceedings{BUT32157, author="Miloslav {Ohlídal} and Ivan {Ohlídal} and Petr {Klapetek} and David {Nečas}", title="PRECISE MEASUREMENT OF THICKNESS DISTRIBUTION OF NON-UNIFORM THIN FILMS BY IMAGING SPECTROSCOPIC REFLECTOMETRY", booktitle="Proceedings of IMEKO 2009", year="2009", pages="100--105", publisher="IMEKO", address="Lisabon", isbn="978-963-88410-0-1" }