Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I. KLAPETEK, P. NEČAS, D. BURŠÍKOVÁ, V.
Originální název
Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films
Typ
článek v časopise ve Web of Science, Jimp
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Complete optical characterization of diamond-like carbon films non-uniform in thickness is performed usig spectroscopic imaging reflectometry. It is shown that by using this technique it is possible to determine the distributions of the refractive index, extinction coefficient and thickness (with arbitrary shape of the thickness non-uniformity) of these films.
Klíčová slova
spectroscopic imaging reflectometry, diamond-like carbon films, optical analysis
Autoři
OHLÍDAL, M.; OHLÍDAL, I.; KLAPETEK, P.; NEČAS, D.; BURŠÍKOVÁ, V.
Rok RIV
2009
Vydáno
31. 1. 2009
Nakladatel
Elsevier
Místo
LAUSANNE
ISSN
0925-9635
Periodikum
Diamond and Related Materials
Ročník
2009 (18)
Číslo
1
Stát
Nizozemsko
Strany od
384
Strany do
387
Strany počet
4
BibTex
@article{BUT48065, author="Miloslav {Ohlídal} and Ivan {Ohlídal} and Petr {Klapetek} and David {Nečas} and Vilma {Buršíková}", title="Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films", journal="Diamond and Related Materials", year="2009", volume="2009 (18)", number="1", pages="384--387", issn="0925-9635" }