Detail publikace

An ellipsometric study of W thin films deposited on Si

Deineka AG, Tarasenko AA, Jastrabik L, Chvostova D, Bousek J

Originální název

An ellipsometric study of W thin films deposited on Si

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

angličtina

Autoři

Deineka AG, Tarasenko AA, Jastrabik L, Chvostova D, Bousek J

Vydáno

10. 2. 1999

Nakladatel

Elsevier

ISSN

0040-6090

Periodikum

Thin Solid Films

Ročník

Volume 339

Číslo

1-2

Stát

Nizozemsko

Strany od

216

Strany do

219

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT50574,
  author="Jaroslav {Boušek}",
  title="An ellipsometric study of W thin films deposited on Si",
  journal="Thin Solid Films",
  year="1999",
  volume="Volume 339",
  number="1-2",
  pages="216--219",
  issn="0040-6090"
}