Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
ČECHALOVÁ, B. STUDÝNKA, J. ČECH, V.
Originální název
Characterization of pp-TVS films by spectroscopic ellipsometry
Typ
audiovizuální tvorba
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
We have focused on characterization of plasma polymer films using spectroscopic ellipsometry in this work. The determination of dispersion curves of the refractive index and extinction coefficient for films deposited at different process parameters has been the primary aim of our study.
Klíčová slova
ellipsometry thin film plasma polymerization
Autoři
ČECHALOVÁ, B.; STUDÝNKA, J.; ČECH, V.
Vydáno
28. 11. 2006
Místo
Berlin
ISBN
3000187510
Edice
BAM
Číslo edice
2006
URL
http://www.ake.bam.de/workshop-ellipsometry-2006/index.html
BibTex
@misc{BUT63475, author="Božena {Čechalová} and Jan {Studýnka} and Vladimír {Čech}", title="Characterization of pp-TVS films by spectroscopic ellipsometry", year="2006", series="BAM", edition="2006", address="Berlin", isbn="3000187510", url="http://www.ake.bam.de/workshop-ellipsometry-2006/index.html", note="presentation" }