Detail aplikovaného výsledku

Termální disociační zdroj atomů vodíku.

MACH, J.; ŠIKOLA, T.

Originální název

Termální disociační zdroj atomů vodíku.

Anglický název

Hydrogen Atom Beam Source.

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Přístroj vytváří užitím vysokoteplotní disociace (2000 K) svazek atomů vodíku o termální energii (0.1 - 1 eV). Tento svazek má mnoho různých aplikací, jako například: nízkoteplotní čištění a modifikace povrchů a tenkých vrstev, molekulární svazkové epitaxe s asistencí atomárního vodíku.

Abstrakt anglicky

The source generates hydrogen atomic beam with thermal energy (0.1 - 1 eV) by thermal dissociation (at 2000 K). The source is used for UHV applications: low-temperature cleaning and modification of surfaces and thin films, and hydrogen assisted molecular beam epitaxy.

Klíčová slova

Atomic hydrogen; thermal atom source of hydrogen; atom source; hydrogen; dissociation

Klíčová slova anglicky

Atomic hydrogen; thermal atom source of hydrogen; atom source; hydrogen; dissociation

Umístění

A2/518

Licenční poplatek

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

www

http://www.physics.fme.vutbr.cz/