Detail patentu

Ionizační detektor s elektrostatickým separátorem (ISEDS)

NEDĚLA, V. JIRÁK, J.

Typ patentu

patent

Abstrakt

Základní filozofií Ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS) je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při zachování vysokého podílu detekovaného signálu sekundárních elektronů s minimálním příspěvkem zpětně odražených elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem pozorovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou.

Klíčová slova

ISEDS, sekundární elektrony, VP SEM

Číslo patentu

299864

Datum přihlášky

17. 6. 2009

Datum zápisu

20. 1. 2010

Vydavatel

Úřad průmyslového vlastnictví

Vlastník

UPT AVČR, v.v.i

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek