Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
DANĚK, L.
Originální název
Methods Used to Determine Exposition Curve for Diffractive Relief
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
This paper is focused on methods used to measure data for determination of exposition curve, assigns rules of exact measurement, describes limitations of used measurement methods, and suggests new pattern satisfying assigned rules.
Klíčová slova
exposition curve, electron-beam lithography
Autoři
Vydáno
1. 1. 2003
Místo
Brno
ISBN
80-214-2379-X
Kniha
PROCEEDINGS OF 9th CONFERENCE AND COMPETITION STUDENT EEICT 2003 Volume 3
Číslo edice
1.
Strany od
422
Strany do
424
Strany počet
3
URL
http://www.feec.vutbr.cz
BibTex
@inproceedings{BUT7700, author="Lukáš {Daněk}", title="Methods Used to Determine Exposition Curve for Diffractive Relief", booktitle="PROCEEDINGS OF 9th CONFERENCE AND COMPETITION STUDENT EEICT 2003 Volume 3", year="2003", number="1.", pages="3", address="Brno", isbn="80-214-2379-X", url="http://www.feec.vutbr.cz" }