Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail produktu
MACH, J. PROCHÁZKA, P. SEREGIN, A.
Typ produktu
funkční vzorek
Abstrakt
Navržené a realizované zařízení je určeno pro přípravu grafenovývh struktur v podmínkách nízkého vakua. Dále lze zařízení použít k žíhání materiálů v podmínkách vysokého vakua. Maxilální dosahovaná teplota je 1100 oC a základní tlak je 1*10-6 mbar. Užitím PC je možno ovládat průtok dvou druhů plynu v rozsahu toků (0-10 sccm a 0-100 sccm), také měnit čerpací rychlost systému, tlak a teplotu uvnitř pece. Cely systém je chlazen průtokem vody.
Klíčová slova
Vakuum, syntéza, CVD
Datum vzniku
14. 2. 2012
Umístění
A2/518
Možnosti využití
Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licenční poplatek
Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek