Detail publikace

Design and fabrication of MEMS low power heating membrane

SVATOŠ, V. MÁRIK, M. PEKÁREK, J. HRDÝ, R. CHOMOUCKÁ, J. HUBÁLEK, J.

Originální název

Design and fabrication of MEMS low power heating membrane

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

The aim of this work is design and fabrication of micro hotplates. This type of device is often used for gas-sensing applications. The main goal is to produce the structure of the heating membrane. Two types of membranes are discussed – suspended and close type of the membrane. The sample which is going to be produced will be a membrane with the size of 1 mm2, to ensure a suitable fabrication technology and the applicable design of the micro-hotplate. The micro hotplates power consumption has to be up to 100 mW at the operating temperature 480 C.

Klíčová slova

microhotplate, gas sensor, membrane

Autoři

SVATOŠ, V.; MÁRIK, M.; PEKÁREK, J.; HRDÝ, R.; CHOMOUCKÁ, J.; HUBÁLEK, J.

Rok RIV

2012

Vydáno

30. 5. 2012

Nakladatel

Mendelova univerzita v Brně

Místo

Brno

ISBN

978-80-7375-618-5

Kniha

XII. Pracovní setkání fyzikálních chemiků a elektrochemiků

Číslo edice

1.

Strany od

303

Strany do

304

Strany počet

2

BibTex

@inproceedings{BUT92581,
  author="Vojtěch {Svatoš} and Marian {Márik} and Jan {Pekárek} and Radim {Hrdý} and Jana {Pekárková} and Jaromír {Hubálek}",
  title="Design and fabrication of MEMS low power heating membrane",
  booktitle="XII. Pracovní setkání fyzikálních chemiků a elektrochemiků",
  year="2012",
  number="1.",
  pages="303--304",
  publisher="Mendelova univerzita v Brně",
  address="Brno",
  isbn="978-80-7375-618-5"
}