Detail publikace

Detection of Signal Electrons in the Low Voltage SEM.

P. Wandrol, I. Müllerová

Originální název

Detection of Signal Electrons in the Low Voltage SEM.

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

angličtina

Originální abstrakt

This paper deals with the detection of signal electrons in the SEM at primary beam energies of 3 keV and less.

Klíčová slova

signal electrons, detection, low voltage SEM

Autoři

P. Wandrol, I. Müllerová

Vydáno

22. 5. 2006

Nakladatel

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Místo

Brno

ISBN

80-239-6285-X

Kniha

Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

Číslo edice

1

Strany od

71

Strany do

72

Strany počet

2

BibTex

@inproceedings{BUT24229,
  author="Petr {Wandrol} and Ilona {Müllerová}",
  title="Detection of Signal Electrons in the Low Voltage SEM.",
  booktitle="Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation",
  year="2006",
  number="1",
  pages="2",
  publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR",
  address="Brno",
  isbn="80-239-6285-X"
}