Detail publikace
Deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films
VOBORNÝ, S. KOLÍBAL, M. MACH, J. ČECHAL, J. BÁBOR, P. PRŮŠA, S. SPOUSTA, J. ŠIKOLA, T.
Originální název
Deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
Paper deals with the deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films
Klíčová slova
Ion beam, deposition, XPS
Autoři
VOBORNÝ, S.; KOLÍBAL, M.; MACH, J.; ČECHAL, J.; BÁBOR, P.; PRŮŠA, S.; SPOUSTA, J.; ŠIKOLA, T.
Rok RIV
2004
Vydáno
1. 1. 2004
ISSN
0040-6090
Periodikum
Thin Solid Films
Ročník
459
Číslo
1-2
Stát
Nizozemsko
Strany od
17
Strany do
21
Strany počet
5
BibTex
@article{BUT42360,
author="Stanislav {Voborný} and Miroslav {Kolíbal} and Jindřich {Mach} and Jan {Čechal} and Petr {Bábor} and Stanislav {Průša} and Jiří {Spousta} and Tomáš {Šikola}",
title="Deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films",
journal="Thin Solid Films",
year="2004",
volume="459",
number="1-2",
pages="5",
issn="0040-6090"
}