Detail publikace

Optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro VP-ESEM

ČUDEK, P.

Originální název

Optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro VP-ESEM

Anglický název

Optimization of secondary electrons detection by experimental scintillation SE detector for VP-ESEM

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Práce se zabývá problematikou optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro environmentální rastrovací mikroskop pracující s vyšším tlakem v komoře vzorku od tlaku 0,1 Pa až po tlaky běžně používané ve VP-ESEM

Anglický abstrakt

This article deals with the problematic of the optimization of secondary electrons detection by the experimental scintillation secondary electron detector for varriable pressure / environmental scanning electron microscope for pressure range from 0,1 Pa to pressure used in VP-ESEM

Klíčová slova v angličtině

Variable pressure environmental scanning electron microscope, scintillation secondary electron detector, secondary electrons, backscattered electrons, signal level.

Autoři

ČUDEK, P.

Rok RIV

2011

Vydáno

2. 11. 2011

ISBN

978-80-261-0016-4

Kniha

Elektrotechnika a Informatika 2011

Strany od

13

Strany do

16

Strany počet

4

BibTex

@inproceedings{BUT74452,
  author="Pavel {Čudek}",
  title="Optimalizace detekce sekundárních elektronů experimentálním scintilačním SE detektorem pro VP-ESEM",
  booktitle="Elektrotechnika a Informatika 2011",
  year="2011",
  pages="13--16",
  isbn="978-80-261-0016-4"
}