Project detail

Realization of the aboratory digital spectrophotometer for the wide spectral region

Duration: 01.01.2004 — 31.12.2006

Funding resources

Czech Science Foundation - Standardní projekty

- whole funder (2004-01-01 - 2006-12-31)

On the project

Podstatou navrhovaného projektu je návrh a realizace laboratorního vzoru dvoukanálového digitálního spektrofotometru umožňujícího v ultrafialové a viditelné oblasti spektra měřit ex situ průběh optických konstant a tloušťky nehomogenních tenkých vrstevna velké ploše. Jako zářivý zdroj bude použit mnochromátor s XE výbojkou, jehož výstupní svazek bude rozdělen dvěma za sebou zařazenými křemennými děliči do dvou kanálů. V prvním z nich bude umístěn měřený vzorek (vrstva), referenční vzorek,CCD kamera azrc adlo zobrazující povrch vzorku na čip CCD kamery. Ve druhém kanálu pak bude umístěn vzorek referenční a pomocný detektor (např. fotonásobič). Obraz povrchu sejmutý CCD kamerou bude zpracován v počítači. V popsaném uspořádání bude možné měřitspektrální zá vislosti relativní odrazivosti (propustnosti)studované vrstvy odpovídající jednotlivým pixelům CCD kamery, tj. odpovídající jednotlivým bodům (malým oblastem) ve střední rovině studovaného povrchu.

Description in English
The target of the project is a realisation of a two-channel digital spectrophotometer enabling us to perform ex-situ measurements of optical constants and thickness area distributions of inhomogeneous thin films within UV and visible spectral regions. Asa source of a sample irradiation will serve a monochromator with XE lamp output beam of which will be split by means of two silica beamsplitters into two channels. The first of them will include a sample under study (thin film), a reference sample, a CCDcamera and a mirror imaging a surface of the sample on a chip of the CCD camera. The second channel will include the reference sample and an auxiliary detector (e.g. a photomultiplier). A computer will process the image of the surface recorded by the CCDcamera. Spectral dependences of relative reflectance (transmittance)of the films under study corresponding to individual pixels of the CCD camera, that is to individual small domains within the mean plane of the surface, can be measured. Area

Mark

GA101/04/2131

Default language

Czech

People responsible

Ohlídal Miloslav, prof. RNDr., CSc. - principal person responsible

Units

Institute of Physical Engineering
- beneficiary (2004-01-01 - 2006-12-31)

Results

OHLÍDAL, I.,OHLÍDAL, M., FRANTA, D., ČUDEK, V., BURŠÍKOVÁ, V., ŠILER, M. Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O. In Advances in Thin Film Coatings for Optical Applications. Bellingham, Washington, USA: SPIE-The International Society for Optical Engineering, 2004. p. 139 ( p.)ISBN: 0-8194-5465-6.
Detail

OHLÍDAL, I., FRANTA, D., ČUDEK, V., BURŠÍKOVÁ, V., KLAPETEK, P., JÁKL, M. Optical measurement of mechanical stresses in diamond-like carbon films. In PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE). Proceedings of SPIE. Bellingham, Washington: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE), 2005. p. 717-728. ISBN: 0-8194-5757-4. ISSN: 0277-786X.
Detail

OHLÍDAL, M.; ČUDEK, V.; OHLÍDAL, I.; KLAPETEK, P. Optical characterization of non-uniform thin films using imaging spectrophotometry. In Proceedings of SPIE - Advances in Optical Thin Films II. Proceedings of SPIE. Bellingham, Washington, USA: Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE), 2005. p. 596329-1 (596329-8 p.)ISBN: 0-8194-5951-8. ISSN: 0277-786X.
Detail

OHLÍDAL, I., OHLÍDAL, M., FRANTA, D., ČUDEK, V., BURŠÍKOVÁ, V., ŠILER, M. Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody. Jemná mechanika a optika, 2005, roč. 50, č. 3, s. 72-75. ISSN: 0447-6441.
Detail

OHLÍDAL, I., OHLÍDAL, M., FRANTA, D. Influence of technological conditions on mechanical stresses inside diamond-like carbon films. Diamond and Related Materials, 2005, vol. 14, no. 11-12, p. 1835-1838. ISSN: 0925-9635.
Detail

OHLÍDAL, M.; ČUDEK, V.; KRŠEK, J.; JÁKL, M.: DSM0406; Digitální zobrazující spektrofotometr pro širokou spektrální oblast. ÚFI, laboratoř koherenční optiky (A2/218). (funkční vzorek)
Detail

Responsibility: Ohlídal Miloslav, prof. RNDr., CSc.