Project detail

Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC

Duration: 01.03.2012 — 31.12.2019

Funding resources

Technologická agentura ČR - Centra kompetence

- whole funder (2012-03-01 - 2019-12-31)

On the project

Keywords
Electron beam lithography;Scanning electron microscopy;Scanning probe microscopy;Ultra high vacuum;Nanofabrication;Functional properties of nanostructures;Semiconductors

Key words in English
Electron beam lithography, Scanning electron microscopy, Scanning probe microscopy, Ultra high vacuum, Nanofabrication, Functional properties of nanostructures, Semiconductors

Mark

TE01020233

Default language

Czech

People responsible

Šikola Tomáš, prof. RNDr., CSc. - principal person responsible

Units

Institute of Physical Engineering
- beneficiary (2012-03-01 - 2019-12-31)

Results

KALOUSEK, R.; DUB, P.; BŘÍNEK, L.; ŠIKOLA, T. Response of plasmonic resonant nanorods: an analytical approach to optical antennas. OPTICS EXPRESS, 2012, vol. 20, no. 16, p. 17916-17927. ISSN: 1094-4087.
Detail

KŘÁPEK, V.; KLENOVSKÝ, P.; ŠIKOLA, T. Type-I and Type-II Confinement in Quantum Dots: Excitonic Fine Structure. ACTA PHYSICA POLONICA A, 2016, vol. 129, no. 1A, p. A66 (A69 p.)ISSN: 0587-4246.
Detail

HOŠEK, M.; ŘEŘUCHA, Š.; PRAVDOVÁ, L.; ČÍŽEK, M.; HRABINA, J.; ČÍP, O. Investigating The Use Of The Hydrogen Cyanide (HCN) As An Absorption Media For Laser Spectroscopy. In 21st Czech-Polish-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. BELLINGHAM: SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING, 2019. ISBN: 9781510626089.
Detail

PRŮŠA, S.; BÁBÍK, P.; ŠIKOLA, T.; BRONGERSMA, H. Quantitative analysis of calcium and fluorine by high-sensitivity low-energy ion scattering: Calcium fluoride. Surface and Interface Analysis, 2020, vol. 52, no. 1, p. 1000-1003. ISSN: 0142-2421.
Detail

UHLÍŘ, V.; PRESSACCO, F.; ARREGI URIBEETXEBARRIA, J.; PROCHÁZKA, P.; PRŮŠA, S.; POTOČEK, M.; ŠIKOLA, T.; ČECHAL, J.; BENDOUNAN, A.; SIROTTI, F. Single-layer graphene on epitaxial FeRh thin films. Applied Surface Science, 2020, vol. 514, no. 1, p. 145923-1 (145923-7 p.)ISSN: 0169-4332.
Detail

MACH, J.; PIASTEK, J.; MANIŠ, J.; ČALKOVSKÝ, V.; ŠAMOŘIL, T.; FLAJŠMANOVÁ, J.; BARTOŠÍK, M.; VOBORNÝ, S.; KONEČNÝ, M.; ŠIKOLA, T. Low temperature selective growth of GaN single crystals on pre-patterned Si substrates. Applied Surface Science, 2019, vol. 497, no. 143705, p. 1-7. ISSN: 0169-4332.
Detail

BOUCHAL, P.; DVOŘÁK, P.; BABOCKÝ, J.; BOUCHAL, Z.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; KŘÁPEK, V.; FAßBENDER, A.; LINDEN, S.; CHMELÍK, R.; ŠIKOLA, T. Kvantitativní fázové měření plazmonických metapovrchů pomocí geometricko-fázové holografické mikroskopie. Jemná mechanika a optika, 2019, roč. 64, č. 4, s. 95-98. ISSN: 0447-6441.
Detail

NOVÁK, T.; KOSTELNÍK, P.; KONEČNÝ, M.; ČECHAL, J.; KOLÍBAL, M.; ŠIKOLA, T. Temperature effect on Al predose and AlN nucleation affecting the buffer layer performance for the GaN-on-Si based high-voltage devices. Japanese Journal of Applied Physics, 2019, vol. 58, no. SC, p. SC1018-1 (SC1018-9 p.)ISSN: 0021-4922.
Detail

BOUCHAL, P.; DVOŘÁK, P.; BABOCKÝ, J.; BOUCHAL, Z.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; KŘÁPEK, V.; FAßBENDER, A.; LINDEN, S.; CHMELÍK, R.; ŠIKOLA, T. High-Resolution Quantitative Phase Imaging of Plasmonic Metasurfaces with Sensitivity down to a Single Nanoantenna. NANO LETTERS, 2019, vol. 19, no. 2, p. 1242-1250. ISSN: 1530-6984.
Detail

HOLEŇÁK, R.; SPUSTA, T.; POTOČEK, M.; SALAMON, D.; ŠIKOLA, T.; BÁBOR, P. 3D localization of spinel (MgAl2O4) and sodium contamination in alumina by TOF-SIMS. MATERIALS CHARACTERIZATION, 2019, vol. 148, no. 1, p. 252-258. ISSN: 1044-5803.
Detail

AMEEN POYLI, M.; HRTOŇ, M.; NECHAEV, I.; NIKITIN, A.; ECHENIQUE, P.; SILKIN, V.; AIZPURUA, J.; ESTEBAN, R. Controlling surface charge and spin density oscillations by Dirac plasmon interaction in thin topological insulators. PHYSICAL REVIEW B, 2018, vol. 97, no. 11, p. 115420-1 (115420-14 p.)ISSN: 2469-9950.
Detail

KONEČNÝ, M.; BARTOŠÍK, M.; MACH, J.; ŠVARC, V.; NEZVAL, D.; PIASTEK, J.; PROCHÁZKA, P.; CAHLÍK, A.; ŠIKOLA, T. Kelvin Probe Force Microscopy and Calculation of Charge Transport in a Graphene/Silicon Dioxide System at Different Relative Humidity. ACS APPL MATER INTER, 2018, vol. 10, no. 14, p. 11987-11994. ISSN: 1944-8244.
Detail

ŠIK, O.; BÁBOR, P.; POLČÁK, J.; BELAS, E.; MORAVEC, P.; GRMELA, L.; STANĚK, J. Low Energy Ion Scattering as a depth profiling tool for thin layers - Case of bromine Methanol etched CdTe. Vacuum, 2018, no. 152, p. 138-144. ISSN: 0042-207X.
Detail

HRTOŇ, M.; KŘÁPEK, V.; ŠIKOLA, T. Boundary element method for 2D materials and thin films. OPTICS EXPRESS, 2017, vol. 25, no. 20, p. 23709-23724. ISSN: 1094-4087.
Detail

MACH, J.; PROCHÁZKA, P.; BARTOŠÍK, M.; NEZVAL, D.; PIASTEK, J.; HULVA, J.; ŠVARC, V.; KONEČNÝ, M.; KORMOŠ, L.; ŠIKOLA, T. Electronic transport properties of graphene doped by gallium. NANOTECHNOLOGY, 2017, vol. 28, no. 41, p. 1-10. ISSN: 0957-4484.
Detail

ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. Flexible foils formed by a prolonged electron beam irradiation in scanning electron microscope. Applied Surface Science, 2017, vol. 423, no. 1, p. 538-541. ISSN: 0169-4332.
Detail

DVOŘÁK, P.; ÉDES, Z.; KVAPIL, M.; ŠAMOŘIL, T.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; KALOUSEK, R.; KŘÁPEK, V.; DUB, P.; SPOUSTA, J.; VARGA, P.; ŠIKOLA, T. Imaging of near-field interference patterns by a-SNOM – influence of illumination wavelength and polarization state. OPTICS EXPRESS, 2017, vol. 25, no. 14, p. 16560-16573. ISSN: 1094-4087.
Detail

BABOCKÝ, J.; KŘÍŽOVÁ, A.; ŠTRBKOVÁ, L.; KEJÍK, L.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; DVOŘÁK, P.; TÝČ, M.; ČOLLÁKOVÁ, J.; KŘÁPEK, V.; KALOUSEK, R.; CHMELÍK, R.; ŠIKOLA, T. Quantitative 3D phase imaging of plasmonic metasurfaces. ACS Photonics, 2017, vol. 4, no. 6, p. 1389-1397. ISSN: 2330-4022.
Detail

DVOŘÁK, P.; NEUMAN, T.; BŘÍNEK, L.; ŠAMOŘIL, T.; KALOUSEK, R.; DUB, P.; VARGA, P.; ŠIKOLA, T. Control and Near-Field Detection of Surface Plasmon Interference Patterns. NANO LETTERS, 2013, vol. 13, no. 6, p. 2558-2563. ISSN: 1530-6984.
Detail

BŘÍNEK, L.; DVOŘÁK, P.; NEUMAN, T.; DUB, P.; KALOUSEK, R.; ŠIKOLA, T. Aplikace rastrovací optické mikroskopie v blízkém poli pro plasmoniku. Jemná mechanika a optika, 2013, roč. 58, č. 6, s. 169-171. ISSN: 0447-6441.
Detail

LIŠKOVÁ, Z.; PROCHÁZKA, P.; BARTOŠÍK, M.; MACH, J.; URBÁNEK, M.; LEDINSKÝ, M.; FEJFAR, A.; ŠIKOLA, T. Metody charakterizace grafenu. Jemná mechanika a optika, 2013, roč. 58, č. 6, s. 184-186. ISSN: 0447-6441.
Detail

ŠULC, D.; WERTHEIMER, P.; PÁLENÍČEK, M.; VÁLEK, L.; ŠIKOLA, T. Zařízení pro analýzu křemíkových desek. Jemná mechanika a optika, 2013, roč. 58, č. 6, s. 187-189. ISSN: 0447-6441.
Detail

BŘÍNEK, L.; ÉDES, Z.; DVOŘÁK, P.; NEUMAN, T.; ŠAMOŘIL, T.; KALOUSEK, R.; DUB, P.; ŠIKOLA, T. Interference povrchových plazmonů v blízkém poli. Československý časopis pro fyziku, 2013, roč. 63, č. 4, s. 234-236. ISSN: 0009-0700.
Detail

PROCHÁZKA, P.; MACH, J.; BISCHOFF, D.; LIŠKOVÁ, Z.; DVOŘÁK, P.; VAŇATKA, M.; SIMONET, P.; VARLET, A.; HEMZAL, D.; PETRENEC, M.; KALINA, L.; BARTOŠÍK, M.; ENSSLIN, K.; VARGA, P.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. Ultrasmooth metallic foils for growth of high quality graphene by chemical vapor deposition. NANOTECHNOLOGY, 2014, vol. 25, no. 18, p. 185601-1 (185601-8 p.)ISSN: 0957-4484.
Detail

ČECHAL, J.; POLČÁK, J.; ŠIKOLA, T. Detachment Limited Kinetics of Gold Diffusion through Ultrathin Oxide Layers. Journal of Physical Chemistry C (print), 2014, vol. 118, no. 31, p. 17549-17555. ISSN: 1932-7447.
Detail

NEUMAN, J.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; ŠULC, D.; WERTHEIMER, P.; VASKEVICH, A.; RUBINSTEIN, I.; ŠIKOLA, T. Příprava pravidelně uspořádaných ostrůvků zlata. Jemná mechanika a optika, 2014, roč. 59, č. 6-7, s. 199-201. ISSN: 0447-6441.
Detail

MACH, J.; ŠAMOŘIL, T.; KOLÍBAL, M.; ZLÁMAL, J.; VOBORNÝ, S.; BARTOŠÍK, M.; ŠIKOLA, T. Optimization of ion-atomic beam source for deposition of GaN ultrathin films. Review of Scientific Instruments, 2014, vol. 85, no. 8, p. 083302-1 (083302-5 p.)ISSN: 0034-6748.
Detail

LIGMAJER, F.; DRUCKMÜLLEROVÁ, Z.; MĚCH, R.; KOLÍBAL, M.; ŠIKOLA, T. Tvorba uspořádaných souborů kovových nanočástic na polovodičových substrátech a jejich charakterizace pomocí spektroskopické elipsometrie. Jemná mechanika a optika, 2014, roč. 59, č. 6-7, s. 178-180. ISSN: 0447-6441.
Detail

ŠAMOŘIL, T.; METELKA, O.; ŠIKOLA, T. Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku. Jemná mechanika a optika, 2014, roč. 59, č. 6-7, s. 192-195. ISSN: 0447-6441.
Detail

KŘÁPEK, V.; KOH, A.; BŘÍNEK, L.; HRTOŇ, M.; TOMANEC, O.; KALOUSEK, R.; MAIER, S.; ŠIKOLA, T. Spatially resolved electron energy loss spectroscopy of crescent-shaped plasmonic antennas. OPTICS EXPRESS, 2015, vol. 23, no. 9, p. 11855-11867. ISSN: 1094-4087.
Detail

NEUMAN, J.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; ZLÁMAL, J.; KALOUSEK, R.; SPOUSTA, J.; DITTRICHOVÁ, L.; ŠIKOLA, T. Experimental optimization of power-function-shaped drive pulse for stick-slip piezo actuators. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2015, vol. 42, no. 1, p. 187-194. ISSN: 0141-6359.
Detail

BÁBOR, P.; DUDA, R.; POLČÁK, J.; PRŮŠA, S.; POTOČEK, M.; VARGA, P.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. Real-time observation of self-limiting SiO2/Si decomposition catalysed by gold silicide droplets. RSC Advances, 2015, vol. 5, no. 123, p. 101726-101731. ISSN: 2046-2069.
Detail

PRŮŠA, S.; PROCHÁZKA, P.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.; TER VEEN, R.; FARTMANN, M.; GREHL, T.; BRÜNER, P.; ROTH, D.; BAUER, P.; BRONGERSMA, H. Highly Sensitive Detection of Surface and Intercalated Impurities in Graphene by LEIS. Langmuir, 2015, vol. 31, no. 35, p. 9628-9635. ISSN: 0743-7463.
Detail

NEZVAL, D.; BARTOŠÍK, M.; MACH, J.; ŠVARC, V.; KONEČNÝ, M.; PIASTEK, J.; ŠPAČEK, O.; ŠIKOLA, T. DFT study of water on graphene: Synergistic effect of multilayer p-doping. Journal of Chemical Physics, 2023, vol. 159, no. 21, ISSN: 1089-7690.
Detail

ÉDES, Z.; KŘÁPEK, V.; ŠIKOLA, T. Modeling of Plasmon-Enhanced Photoluminescence of Si Nanocrystals Embedded in Thin Silicon-Rich Oxinitride Layer. ACTA PHYSICA POLONICA A, 2016, vol. 129, no. 1A, p. A70 (A72 p.)ISSN: 0587-4246.
Detail

FLAJŠMAN, L.; URBÁNEK, M.; KŘIŽÁKOVÁ, V.; VAŇATKA, M.; TURČAN, I.; ŠIKOLA, T. High-resolution fully vectorial scanning Kerr magnetometer. Review of Scientific Instruments, 2016, vol. 87, no. 5, p. 053704-1 (053704-7 p.)ISSN: 0034-6748.
Detail

KVAPIL, M.; KROMKA, A.; REZEK, B.; KALOUSEK, R.; KŘÁPEK, V.; DUB, P.; ŠIKOLA, T. Influence of nanocrystalline diamond on resonant properties of gold plasmonic antennas. physica status solidi (a), 2016, vol. 213, no. 6, p. 1564-1571. ISSN: 1862-6300.
Detail

BABOCKÝ, J.; BOK, J.; ŠIKOLA, T.; FIALA, J. Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie. Jemná mechanika a optika, 2016, roč. 61, č. 6, s. 157-159. ISSN: 0447-6441.
Detail

BABOCKÝ, J.; DVOŘÁK, P.; LIGMAJER, F.; HRTOŇ, M.; ŠIKOLA, T.; BOK, J.; FIALA, J. Patterning large area plasmonic nanostructures on nonconductive substrates using variable pressure electron beam lithography. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2016, vol. 34, no. 6, p. 06K801-1 (06K801-4 p.)ISSN: 1071-1023.
Detail

BARTOŠÍK, M.; KORMOŠ, L.; FLAJŠMAN, L.; KALOUSEK, R.; MACH, J.; LIŠKOVÁ, Z.; NEZVAL, D.; ŠVARC, V.; ŠAMOŘIL, T.; ŠIKOLA, T. Nanometer-Sized Water Bridge and Pull-Off Force in AFM at Different Relative Humidities: Reproducibility Measurement and Model Based on Surface Tension Change. JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY B, 2017, vol. 121, no. 3, p. 610-619. ISSN: 1520-6106.
Detail

PROCHÁZKA, P.; MAREČEK, D.; LIŠKOVÁ, Z.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T. X-ray induced electrostatic graphene doping via defect charging in gate dielectric. Scientific Reports, 2017, vol. 7, no. 1, p. 1-7. ISSN: 2045-2322.
Detail

KORMOŠ, L.; KRATZER, M.; KOSTECKI, K.; OEME, M.; ŠIKOLA, T.; KASPER, E.; SCHULZE, J.; TEICHERT, C. Surface analysis of epitaxially grown GeSn alloys with Sn contents between 15% and 18%. Surface and Interface Analysis, 2017, vol. 49, no. 4, p. 297-302. ISSN: 1096-9918.
Detail

MACH, J.; ŠIKOLA, T.; Vut Brno: Zařízení k nanášení ultratenkých vrstev. 303867, patent. (2013)
Detail

NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; ŠIKOLA, T.; KVAPIL, M.: Měřič piezoposuvů; Systém pro charakterizaci a optimalizaci piezomotorů. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-06/. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Měřící hlava studené emise; Měřicí hlava druhé generace pro měření studené emise elektronů. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Efuzní atomární zdroj pro UHV SEM; Efuzní atomární zdroj pro UHV SEM zařízení. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. (funkční vzorek)
Detail

WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.: STM preamp; Kombinovaný SPM předzesilovač. FSI VUT v Brně, A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2015-04/. (funkční vzorek)
Detail

PAVERA, M.; NOVÁČEK, Z.; DAO, T.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: LT UHV STM; Nízkoteplotní ultravakuový mikroskop STM. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2015-02/. (funkční vzorek)
Detail

PAVERA, M.; NOVÁČEK, Z.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; ŠIKOLA, T.: Stick-slip SPM motor; Stick-slip piezoelektrický motor. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2015-01/. (funkční vzorek)
Detail

WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: HV zesilovač; Vysokonapěťový zesilovač a lineární nízkošumový zdroj. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-03/. (funkční vzorek)
Detail

WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: předzesilovač; Předzesilovač signálu z křemenné ladící vidličky. A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-04/. (funkční vzorek)
Detail

BABOCKÝ, J.; DVOŘÁKOVÁ, H.; FIALA, J.; HRABOVSKÝ, M.; LÁZNIČKA, J.; LOPOUR, F.; MAŇÁSEK, J.; MARŠÍK, J.; ČÍŽEK, M.; HOLÁ, M.; LAZAR, J.; ŘEŘUCHA, Š.; ŠIKOLA, T.: Lithograph L1000; Funkční prototyp elektronového litografu o energii 80 keV. TESCAN Brno s.r.o.. (prototyp)
Detail

DOLEŽEL, P.; LOPOUR, F.; PLACHÝ, L.; SKLADANÝ, R.; ZIGO, J.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.: Functional prototype of a UHV SEM/SPM; Funkční prototyp aparatury UHV SEM/SPM. TESCAN Brno s.r.o.. (prototyp)
Detail

MACH, J.; PROCHÁZKA, P.: Uhlíková cela; Sublimační zdroj atomů uhlíku. Lboratoř 518, ÚFI FSI VUT v Brně.. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-07/. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Organická cela; Zdroj organických molekul s třemi segmenty. ÚFI FSI VUT v Brně, laboratoř 518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-03/. (funkční vzorek)
Detail

MACH, J.: Al cela; Zdroj atomů Al s radiačním ohřevem. ÚFI FSI VUT v Brně, laboratoř 518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-01/. (funkční vzorek)
Detail

SCHÁNILEC, V.; NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: leptač hrotů; Zařízení pro leptání hrotů. Laboratoře ÚFI, FSI VUT v Brně. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-06/. (funkční vzorek)
Detail

NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.: piezomotor; piezomotor, impact drive. Laboratoře ÚFI, FSI VUT v Brně. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-05/. (funkční vzorek)
Detail

NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; WERTHEIMER, P.; ŠULC, D.; ŠIKOLA, T.: Vzduchové SPM; Vzduchové SPM. Laboratoře ÚFI, FSI VUT v Brně. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-04/. (funkční vzorek)
Detail